Термическая стабильность структурно-фазового состояния аморфных ионно-плазменных покрытий

Abstract

We investigated thermal stability of crystalline structure and phase composition of ion-plasma coatings of alloys, like phase invasion TiN - CrN and ZrN - CrN got on different parameters of plasma. Triple nitride coatings were produced on synchronous deposition of plasma, during burning of titanium, zirconium and chromium cathodes, by combining them in sphere of nitrogen near surface of target metal. It turned out that multicomponent alloys of system T i - C r - N and Z r - C r - N safe hiqh thermal stability of structure and phase composition in interval of temperatures of isochronous annealings 700-1300 K. Take on special significance by a question of structure and thermal stability of amorphous structures, which have practical interest. Исследована термическая стабильность кристаллической структуры и фазового состава ионно-плазменных покрытий сплавов типа фаз внедрения TiN - CrN и ZrN - CrN, полученных при различных параметрах плазмы. Покрытия получали при одновременном горении титановых, циркониевых и хромовых катодов и осаждении плазмы при совмещении ее потоков в среде азота у поверхности металла-мишени. Установлено, что многокомпонентные сплавы систем Ti - Cr - N и Zr - Cr - N сохраняют высокую термическую стабильность структуры и фазового состава в интервале температур изохронных отжигов 700-1300 К. Особое значение при этом приобретает вопрос о строении и термической стабильности рентгеноаморфных структур, имеющих практический интерес.