Оптическиe характеристики пленок полиимида, имплантированных ионами B+ и Ag+

Abstract

Reflection and extinction of thin (40 µm) polyimide films implanted by B+ and Ag+ ions in the fluence range 1⋅1016÷1,5⋅1017 cm–2 at ion current density 4 µA/cm2 in the wave length range 200÷1100 nm have been investigated. It was shown that for B+ implanted samples reflection and extinction does not depend on exposed side because of buried carbonized layer formation. In the contrary for Ag+ implanted samples extinction for exposed non-implanted side is higher due to formation near surface silver containing layer. = Изучены спектральные зависимости отражения и экстинкции пленок полиимида толщиной 40 мкм в диапазоне 200÷1100 нм, имплантированных ионами бора и серебра. Пленки были имплантированы ионами серебра Ag+ с энергией 40 кэВ в интервале доз 1⋅1016÷1,5⋅1017 cм–2 и ионами бора В+ с энергией 100 кэВ в интервале доз 1⋅1015÷6⋅1016 cм–2 при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см2. Показано, что при имплантации ионов бора формируется заглубленный модифицированный слой и спектральные характеристики отражения и экстинкции не зависят от стороны падения света, а при имплантации ионов серебра они существенно отличаются вследствие формирования наночастиц серебра в приповерхностном карбонизированном слое. Обнаружена разная величина экстинкции в пленках полиимида, имплантированных ионами се-ребра, при измерении с имплантированной и не имплантированной стороны, что может быть обусловлено разным ходом лучей и многократным внутренним отражением и рассеянием света в слоистом модифицированном объеме матрицы при падении света на не имплантированную поверхность.