ИССЛЕДОВАНИЕ ОТРАЖАТЕЛЬНОЙ СПОСОБНОСТИ ПОЛИИМИДНЫХ ПЛЕНОК ЗА ПРЕДЕЛАМИ ОБЛАСТИ ИМПЛАНТАЦИИ

Abstract

Изучены спектральные зависимости коэффициента отражения в пленках полиимида, имплантированных ионами Ni+, Mn+, Fe+, Co+, Ag+ и B+ с энергией 30 – 100 кэВ в интервале доз 1·1015 – 1.5·1017 см-2 при плотности ионного тока j = 4 - 12 мкА/см2. На обратной (неимплантированной) стороне полимерной пленки, на расстоянии ~ 40 мкм от области торможения ионов, обнаружено увеличение интегрального коэффициента отражения за счет изменения интенсивности и сдвига полос отражения при λ1 = 254 и λ2 = 311 нм. Изменение отражательной способности полимера далеко за пределами имплантированной области дискутируется в рамках модели радиационно-стимулированной перестройки надмолекулярной структуры полиимида и релаксации упругих напряжений на неимплантированной стороне.