КОМБИНИРОВАННЫЙ НАГРЕВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ НАНО- И МИЛЛИСЕКУНДНЫМИ ИМПУЛЬСАМИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

Abstract

Проведена пирометрическая диагностика комбинированного воздействия милли- и наносекундного излучения рубиновых лазеров на монокристаллические пластины Si(100). Пирометрические измерения проводились на эффективной длине волны теплового излучения 0.53 мкм. Установлены зависимости пиковой температуры поверхности образца от плотности энергии в наносекундном импульсе и еѐ величины при комбинированном нагреве кремния. Путем детектирования зондирующего излучения, отраженного от области лазерного воздействия, определен порог плавления (Si), инициируемого наносекундным нагревом, в зависимости от плотности энергии в миллисекундном импульсе.