Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120175
Заглавие документа: | ОБРАЗОВАНИЕ СЛОИСТЫХ СТРУКТУР В КРЕМНИИ, ОБЛУЧЕННОМ ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКИМИ ИОНАМИ ГЕЛИЯ |
Авторы: | Варнина, В. И. Марченко, Л. С. Пинковская, М. Б. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2015 |
Аннотация: | Показана возможность периодического структурообразования в кремнии в условиях высокоэнергетической и высокодозовой имплантации ионами гелия. Представлены результаты исследования структурных и оптических свойств монокристаллического кремния, облученного ионами гелия с энергией 27.2 МэВ при варьировании тока пучка. При флюенсах Ф≥ 1016 см-2 наблюдается образование слоев перпендикулярно направлению пучка ионов. При токах ~ 0.25- 0.45 мкА линейные структуры наблюдались как в пробежной для ионов части Si, так и в запробежной. С ростом тока пучка до ~ 1 мкА линейные структуры, состоящие из пустот, наблюдались только в области пробега ионов. Для объяснения наблюдаемого распространения упорядоченных структур в запробежную для ионов гелия части кремния привлекается понятие мобильных солитонов. Образование периодических структур из пустот связывается с движением фронта рекристаллизации от аморфных слоев, образовавшихся вследствие высокоэнергетического и высокодозового облучения кремния ионами гелия. Полученные результаты имеют фундаментальное значение для более углубленного понимания природы взаимодействия облучения с веществом в условиях большой концентрации дефектов. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120175 |
Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Варнина-Старчик-Пинковская.pdf | 698,81 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.