ИЗУЧЕНИЕ СТРУКТУР И ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ НИТРИДНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ (Ti-Zr-Cr-Nb)N

Abstract

Исследованы структуры и физико-механические свойства многокомпонентных наноструктурных нитридных покрытий (Ti–Zr–Cr–Nb)N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения. Толщина покрытий составляет 6.2 мкм, значения твердости и нагрузки на индентор, обусловливающей напряжения, превышающие когезионную прочность покрытия, – H = 43.7 ГПа и Lc = 62.06 Н соответственно. В покрытиях идентифицированы структуры, состоящие из трех фаз внедрения с кубической, гексагональной и тетрагональной решетками. Размеры нанокристаллитов составляют от 4 до 7.3 нм. Приведены результаты растровой и просвечивающей электронной микроскопии (РЭМ и ПЭМ), энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (ЭДС) и рентгеноструктурного анализа (РСА).