СТРУКТУРНЫЕ И ПЛАЗМОННЫЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ПММА С ИОННО-СИНТЕЗИРОВАННЫМИ НАНОЧАСТИЦАМИ СЕРЕБРА ДЛЯ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК

Abstract

В работе предложена методика формирования оптических дифракционных элементов на поверхности полимера (полиметилметакрилата - ПММА) при его низкоэнергетической имплантации ионами благородных металлов (серебра) через поверхностную маску. Имплантация проводилась ионами Ag+ энергией 30 кэВ и дозами 5.0x1014 - 1.5x1017 ион/см2 через поверхностную металлическую проволочную маску с квадратными отверстиями размером 20 мкм. В процессе имплантации в незащищенных областях облучаемого ПММА были синтезированы наночастицы серебра, как это следует из оптических спектров их плазмонного поглощения и наблюдений на атомно-силовом микроскопе (АСМ). Формирование периодических поверхностных микроструктур при локальном ионном распылении ПММА во время имплантации наблюдалось на АСМ и оптическом микроскопе. Эффективность функционирования дифракционного оптического элемента на микроструктурах ПММА с наночастицами серебра показана при его зондировании излучением лазера в видимом диапазоне.