ГИБКИЕ МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА

Abstract

Разработаны тонкопленочные структуры с нанопорами в полиимиде, заполненными проводящим материалом, на основе которых созданы действующие макеты гибких микроэлектронных устройств (индуктор, трансформатор, конден-сатор). Микроиндуктор имеет трехмерную конфигурацию с толщиной и шириной витка 10 мкм и 100 мкм, соответственно, и индуктивность ~3 × 10-4 Гн при добротности, равной 8, на частоте 0.2 ГГц. Высокочастотный микротрансформатор напряжения состоит из двух обмоток с соотношением витков 1:1.5. Испытания показали его работоспособность в интервале частот 107 – 109 Гц с коэффициентом связи около 90 %. Микроконденсатор характеризуется практически независимой от частоты емкостью порядка 0.5-0.6 пФ при частотах до 1 ГГц. Показано, что конструирование элементов электрических цепей на гибкой подложке дает возможность их использования на сложнопрофильных и подвижных поверхностях с одновременным уменьшением массогабаритных показателей.