ВОЗДЕЙСТВИЕ МОЩНОГО ИОННОГО ПУЧКА НА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ

Abstract

Исследовано воздействие мощного ионного пучка на поликристаллические оксиды V2O5, MoO3 и WO3. Установлено, что облучение оксидов ионным пучком с плотностью тока превышающей ~ 20 A/cm2 приводит к изменению цвета об-лученного слоя и плавлению частиц поверхностного слоя. При воздействии мощного ионного пучка на V2O5 на его поверхности формируются массивы нанопластин и нанопроволок с характерным поперечным размером ~ 1 мкм и толщи-ной до ~ 40 нм. При увеличении плотности тока пучка формирование нанопластин происходит преимущественно вокруг возникающих при облучении поверхностных трещин. Обсужден возможный механизм образования наноструктур при воздействии импульсного ионного пучка.