Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120021Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ильин, О. И. | - |
| dc.contributor.author | Коломийцев, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Коц, И. Н. | - |
| dc.contributor.author | Лисицын, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-10-06T08:51:14Z | - |
| dc.date.available | 2015-10-06T08:51:14Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120021 | - |
| dc.description.abstract | В работе представлены результаты экспериментальных исследований закономерностей ионно-стимулированного осаждения углерода методом фокусированных ионных пучков. Проведен анализ влияния тока ионного пучка, времени воздействия в точке и ускоряющего напряжения на геометрические параметры формируемых наноразмерных структур. Показано, что для формирования наноструктур с высоким аспектным соотношением минимального размера необходи-мо использовать минимальные значения тока ионного пучка (1-10 пА) и значения времени воздействия пучка в точке от 800 до 1000 мкс. Показана перспективность метода ФИП при формировании наноразмерных структур для наноэлектроники и нанодиагностики. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | ФОРМИРОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР МЕТОДОМ ЛОКАЛЬНОГО ИОННО-СТИМУЛИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Ильин Коломийцев.pdf | 568,37 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.