Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/107967
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПокотило, Ю. М.-
dc.contributor.authorПетух, А. Н.-
dc.contributor.authorЛитвинов, В. В.-
dc.contributor.authorМаркевич, В. П.-
dc.contributor.authorКсеневич, В. К.-
dc.contributor.authorСмирнова, О. Ю.-
dc.contributor.authorСтельмах, Г. Ф.-
dc.contributor.authorМазаник, А. В.-
dc.contributor.authorКоролик, О. В.-
dc.contributor.authorГиро, А. В.-
dc.contributor.authorПальмера Д. Мигель А.-
dc.date.accessioned2015-01-23T11:28:45Z-
dc.date.available2015-01-23T11:28:45Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationМатериалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.ru
dc.identifier.isbn978-985-553-234-8-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/107967-
dc.description.abstractИсследовались структуры Si/P+, обработанные в водородной плазме. Ориентация подложки <111>, толщина 510-540 мкм. Эпитаксиальный слой толщиной (55.2-64,8) мкм легирован фосфором (ρ= 1 Омсм). Обработка структур в водородной плазме проводилась при температуре 150°С в течение 10 часов. Были также проведены исследования изохронного (20 мин) отжига профилей распределения концентрации электронов в диодах Шоттки, облученных протонами с энергией 300 кэВ. Установлено, что в кремнии, обработанном в водородной плазме и имплантированном протонами, образуется новый тип Н-доноров, без участия радиационных дефектов и без последующей термообработки.ru
dc.description.sponsorshipБелорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследованийru
dc.language.isoruru
dc.publisherИздательский центр БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleМодификация свойств кремниевых эпитаксиальных пленок обработкой в водородной плазмеru
dc.typeArticleru
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.79-81.pdf240,9 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.