Исследование алмазного теплоотвода со встроенным датчиком температуры

Abstract

В работе проводились исследования характеристик теплоотвода на основе синтетического HTHP алмаза со встроенным датчиком температуры и моделирование процессов теплопереноса в нем. Для создания теплоотвода использовались синтетические кристаллы алмаза производства РУП “Адамас БГУ”. Контакты создавались имплантацией ионов бора с последующим активационным отжигом в вакууме. На основе синтетического алмаза был изготовлен теплоотвод со встроенным датчиком температуры. Установлено, что постоянная времени отклика датчика температуры, встроенного в алмазный теплоотвод, составляет величину порядка 10 мс. Размеры алмазной пластины существенным образом влияют на быстродействие системы нагреватель-датчик температуры. Разработанная компьютерная модель позволяет прогнозировать величину и кинетику разогрева мощных полупроводниковых приборов, оптимизировать систему их охлаждения.