Влияние температуры на спектральные характеристики фотоприемников на основе СТМ «Алмазот»

Abstract

В работе проводились исследования влияния температуры на спектральные характеристики фотоприемников УФ излучения на основе синтетического алмаза отечественного производства – СТМ «Алмазот». Исследовались детекторные структуры, расположенные в различных областях пластины СТМ «Алмазот». Пластина вырезана из центральной части кристалла перпендикулярно его основанию вдоль плоскости (100) таким образом, чтобы в ее состав входили призатравочная область, центральная часть кристалла и области, прилегающие к вершинам, содержащие различное количество примесного азота. Для создания контактов использовалась имплантация ионов бора с последующим активационным отжигом.