Программа "Тонкопленочные сенсоры"

Abstract

Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. При изложении курса основной упор делается на физико-химическое рассмотрение процессов взаимодействия потоков частиц с поверхностью кремниевой подложки, использование понятия «константа равновесия» процессов высокотемпературного разложения силана и других соединений, используемых при производстве микросистем. Знание физико-химических основ процессов эпитаксии позволит будущим специалистам легко освоить современное производство микросхем, а также воспринять новые нанотехнологические схемы производства.