Компьютерное моделирование процессов растворения монокристаллов

Abstract

33 стр., 21 рис., 1 табл., 14 ист. лит. В данной дипломной работе выполнены эксперименты по компьютер- ному моделированию процесса растворения монокристалла кремния. В работе приводится описание оригинальной компьютерной программы, предназначен- ная для моделирования на атомном уровне процесса растворения. Проведена серия натурных экспериментов по маскированному растворению кристалли- ческого кремния, целью которой являлась проверка адекватности компьютер- ного «растворения». Сравнение результатов натурных и компьютерных экспе- риментов показал, что программа «Diamond-2» способна передать основные особенности процесса растворения кристалла кремния. Однако для большего соответствия особенностей рельефа результирующих поверхностей необхо- дима более детальная классификация поверхностных атомов в данной компь- ютерной программе.