https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/190327 Mon, 20 Apr 2026 12:00:03 GMT 2026-04-20T12:00:03Z https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/48496 Заглавие документа: Технология электроники : УМК / В. С. Малышев; БГУ, ММФ Авторы: Малышев, Виктор Степанович Аннотация: Данный курс дает представление обо всех основных этапах (процессах) формирования ИС на полупроводниковых пластинах, а также дает физико-химические основы и формальные математические модели, описывающие процессы изготовления ИС. Доп. сведения: Полный текст документа доступен пользователям сети БГУ. Wed, 09 Oct 2013 00:00:00 GMT https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/48496 2013-10-09T00:00:00Z