ЭБ Коллекция: https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/188273 Mon, 20 Apr 2026 12:20:08 GMT 2026-04-20T12:20:08Z Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/272439 Заглавие документа: Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч Авторы: Савицкий, Александр Александрович Аннотация: Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. Wed, 30 Jun 2021 00:00:00 GMT https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/272439 2021-06-30T00:00:00Z Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем (05 01-01) (н-пр деят) УД-3987\уч https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/191940 Заглавие документа: Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем (05 01-01) (н-пр деят) УД-3987\уч Авторы: Савицкий, Александр Александрович Аннотация: Учебная дисциплина «Физическая химия и технология тонкопленочных химических сенсоров и микросистем» предназначена для студентов химического факультета, обучающихся по специальности 1-31 05 01 «Химия (по направлениям)», направлению специальности 1-31 05 01-01«Химия (научно-производственная деятельность)» и является дисциплиной по выбору. Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. Sun, 01 Jan 2017 00:00:00 GMT https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/191940 2017-01-01T00:00:00Z