https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/307591 2026-04-20T22:55:12Z https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/339296 Заглавие документа: Импедансная и DLTS-спектроскопия структур Si3N4/n-Si, облученных высокоэнергетичными ионами: аннотация магистерской диссертации / Екатерина Александровна Ермакова; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники; науч. рук. – доцент Горбачук Н.И. Авторы: Ермакова, Екатерина Александровна Аннотация: Цель данной работы – исследование методом импедансной и DLTS-спектроскопии электрофизических свойств МДП-структур с нитридом кремния и изучение дефектов структур в объеме кремния и на границе раздела с диэлектриком. В данном исследовании впервые проведена оценка плотности поверхностных состояний в структурах Al/Si3N4/n-Si методом DLTS-спектроскопии, а также их сопоставление с эволюцией плотности поверхностных состояний, происходящей в результате облучения ионами гелия структур Al/Si3N4/n-Si. Доп. сведения: Полный объем магистерской диссертации составляет 72 страницы, в том числе 47 иллюстраций, 3 таблицы. Список использованных источников содержит 58 наименований. 2025-01-01T00:00:00Z