https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/306776 2026-04-21T14:10:42Z https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/306779 Заглавие документа: Тонкопленочные химические сенсоры и микросистемы: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 05 03 Химия высоких энергий. № УД-12219/уч. Авторы: Савицкий, Александр Александрови Аннотация: Цель данной учебной дисциплины– расширить и углубить знания студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. 2023-06-30T00:00:00Z