https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/292141 2026-04-21T07:00:04Z https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/339178 Заглавие документа: Управление временем жизни неравновесных носителей заряда последовательной имплантацией высокоэнергетичными ионами гелия: аннотация магистерской диссертации / Анастасия Олеговна Задора; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники; науч. рук. – доцент Ковалев А.И. Авторы: Задора, Анастасия Олеговна Аннотация: Целью данной работы является установление влияния радиационных дефектов, введенных при последовательном облучении ионами гелия, на электрические параметры барьерных структур. Объектом исследования являются кремниевые p+-n-диоды, облученные высокоэнергетичными ионами гелия однократно и последовательно энергиями 4,1 и 6,8 МэВ при флюенсах 10^10 и 10^11 см-2. Методика исследования включает в себя DLTS-спектроскопию, импедансную спектроскопию, измерение вольт-амперных характеристик. Уникальность исследования, представленного в данной работы заключается в том, что впервые проведен совместный анализ точечных радиационных дефектов и рассчитаны профили распределения нескомпенсированных доноров по глубине структур, на основе вольт-фарадных характеристик и импедансной спектроскопии, в случае последовательной имплантации ионов гелия в кремний n-типа при указанных условиях. Доп. сведения: Полный объем магистерской диссертации составляет 68 страниц, в том числе 52 иллюстрации, 9 таблиц. Список использованных источников содержит 32 наименования. 2025-01-01T00:00:00Z