https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/257057 2026-04-21T04:03:14Z https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/254615 Заглавие документа: Быстрые технические процессы в технологии создания электронной элементной базы для аэрокосмической техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.01 / Солодуха Виталий Александрович ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники Авторы: Солодуха, Виталий Александрович Аннотация: Цель работы: установление закономерностей влияния быстрой термической обработки на поверхностные свойства кремния, диэлектрическме и ионно-легированные слои, твердофазный синтез PtSi и разработка технологических процессов, обеспечивающих улучшение электрических характеристик элементной базы для аэрокосмической техники. Доп. сведения: Научная работа выполнена в Белорусском государственном университете и ОАО "Интеграл" - управляющей компании холдинга "Интеграл". Научный консультант - Пилипенко Владимир Александрович, член-корреспондент НАН Беларуси, доктор технических наук, профессор, заместитель директора по научному развитию ГЦ "Белмикроанализ" ОАО "Интеграл" 2020-01-01T00:00:00Z