ЭБ Коллекция: https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/190327 2026-04-22T10:51:29Z Технология электроники : УМК / В. С. Малышев; БГУ, ММФ https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/48496 Заглавие документа: Технология электроники : УМК / В. С. Малышев; БГУ, ММФ Авторы: Малышев, Виктор Степанович Аннотация: Данный курс дает представление обо всех основных этапах (процессах) формирования ИС на полупроводниковых пластинах, а также дает физико-химические основы и формальные математические модели, описывающие процессы изготовления ИС. Доп. сведения: Полный текст документа доступен пользователям сети БГУ. 2013-10-09T00:00:00Z