ЭБ Коллекция:https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/3075912026-04-21T08:57:08Z2026-04-21T08:57:08ZИмпедансная и DLTS-спектроскопия структур Si3N4/n-Si, облученных высокоэнергетичными ионами: аннотация магистерской диссертации / Екатерина Александровна Ермакова; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники; науч. рук. – доцент Горбачук Н.И.Ермакова, Екатерина Александровнаhttps://elib.bsu.by:443/handle/123456789/3392962025-12-23T03:48:29Z2025-01-01T00:00:00ZЗаглавие документа: Импедансная и DLTS-спектроскопия структур Si3N4/n-Si, облученных высокоэнергетичными ионами: аннотация магистерской диссертации / Екатерина Александровна Ермакова; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники; науч. рук. – доцент Горбачук Н.И.
Авторы: Ермакова, Екатерина Александровна
Аннотация: Цель данной работы – исследование методом импедансной и DLTS-спектроскопии электрофизических свойств МДП-структур с нитридом кремния и изучение дефектов структур в объеме кремния и на границе раздела с диэлектриком. В данном исследовании впервые проведена оценка плотности поверхностных состояний в структурах Al/Si3N4/n-Si методом DLTS-спектроскопии, а также их сопоставление с эволюцией плотности поверхностных состояний, происходящей в результате облучения ионами гелия структур Al/Si3N4/n-Si.
Доп. сведения: Полный объем магистерской диссертации составляет 72 страницы, в том числе 47 иллюстраций, 3 таблицы. Список использованных источников содержит 58 наименований.2025-01-01T00:00:00Z