ЭБ Коллекция: https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/188273 2026-04-21T11:33:44Z 2026-04-21T11:33:44Z Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч Савицкий, Александр Александрович https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/272439 2021-12-03T04:37:54Z 2021-06-30T00:00:00Z Заглавие документа: Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч Авторы: Савицкий, Александр Александрович Аннотация: Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. 2021-06-30T00:00:00Z Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем (05 01-01) (н-пр деят) УД-3987\уч Савицкий, Александр Александрович https://elib.bsu.by:443/handle/123456789/191940 2018-08-26T21:53:19Z 2017-01-01T00:00:00Z Заглавие документа: Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем (05 01-01) (н-пр деят) УД-3987\уч Авторы: Савицкий, Александр Александрович Аннотация: Учебная дисциплина «Физическая химия и технология тонкопленочных химических сенсоров и микросистем» предназначена для студентов химического факультета, обучающихся по специальности 1-31 05 01 «Химия (по направлениям)», направлению специальности 1-31 05 01-01«Химия (научно-производственная деятельность)» и является дисциплиной по выбору. Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. 2017-01-01T00:00:00Z