Browsing by Author Шамплет, А. В.
Showing results 1 to 2 of 2
| Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
| 2018 | Выращивание эпитаксиальных слоев кремния с использованием трихлорсилана | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Рудницкий, К. В.; Шамплет, А. В.; Нагаев, И. А. |
| 2025 | Выращивание эпитаксиальных слоев кремния, легированных бором, с использованием трихлорсилана и диборана | Наливайко, О. Ю.; Рудницкий, К. В.; Шамплет, А. В. |
