Просмотр Авторы Шамплет, А. В.
Результаты 1 - 2 из 2
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2018 | Выращивание эпитаксиальных слоев кремния с использованием трихлорсилана | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Рудницкий, К. В.; Шамплет, А. В.; Нагаев, И. А. |
| 2025 | Выращивание эпитаксиальных слоев кремния, легированных бором, с использованием трихлорсилана и диборана | Наливайко, О. Ю.; Рудницкий, К. В.; Шамплет, А. В. |
