Просмотр Авторы Руковишников, А. И.
Результаты 1 - 1 из 1
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
|---|---|---|---|
| 2003 | Применение спектральной эллипсометрии c бинарной модуляцией состояния поляризации для исследования ионно-имплантированных структур | Ковалев, В. И.; Руковишников, А. И.; Хомич, А. В. |