Browsing by Author Осин, С. А.
Showing results 1 to 1 of 1
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|---|
2000 | Микроинтерферометр для контроля размеров субмикронных топологических элементов | Колесников, В. М.; Осин, С. А. |
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|---|
2000 | Микроинтерферометр для контроля размеров субмикронных топологических элементов | Колесников, В. М.; Осин, С. А. |