Просмотр Авторы Нагаев, И. А.
Результаты 1 - 1 из 1
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
|---|---|---|---|
| 2018 | Выращивание эпитаксиальных слоев кремния с использованием трихлорсилана | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Рудницкий, К. В.; Шамплет, А. В.; Нагаев, И. А. |