Просмотр Авторы Мельников, С. А.
Результаты 1 - 2 из 2
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2025 | Монохроматическая эллипсометрия оксидных слоев на кремниевых пластинах, сформированных быстрым термическим отжигом | Понкратов, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Стаськов, Н. И.; Петлицкий, А. Н.; Мельников, С. А.; Сотский, А. Б.; Сотская, Л. И.; Шилов, А. В.; Шестовский, Д. В. |
| 2025 | Оптическая неоднородность легированных кремниевых подложек | Шилов, А. В.; Стаськов, Н. И.; Сотский, А. Б.; Пилипенко, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Мельников, С. А. |
