| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2018 | Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисления | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2021 | Влияние быстрой термической обработки на оптические характеристики кремния | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Омельченко, А. А.; Анищик, В. М.; Понарядов, В. В. |
| 2022 | Влияние термической нагрузки при формировании контактов Al-Al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремний | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
| 2022 | Влияние уровня легирования и ретикулярной плотности исходных кремниевых пластин на их оптические характеристики после быстрой термообработки | Омельченко, А. А.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А. |
| 2022 | Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Марудо, Ю. А.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Анищик, В. М.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В. |
| 2021 | Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.; Омельченко, А. А. |
| 2022 | Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом многостадийного быстрого термического отжига | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В. |
| 2011 | Моделирование технологических процессов субмикронной электроники | Комаров, Ф. Ф.; Комаров, А. Ф.; Миронов, А. М.; Заяц, Г. М.; Солодуха, В. А.; Макаревич, Ю. В.; Мискевич, С. А. |
| 2017 | Особенности возникновения структурных дефектов в сильнолегированном Si при диффузии фосфора | Беляев, А. Е.; Болтовец, Н. С.; Конакова, Р. В.; Кладько, В. П.; Любченко, О. И.; Саченко, А. В.; Сафрюк, Н. В.; Шинкаренко, В. В.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Ходин, А. А.; Романец, П. Н.; Кудрик, Я. Я. |
| 2018 | Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработке | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
| 2015 | Оценка равномерности нагрева поверхности полупроводниковых пластин при быстрой термической обработке | Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Петлицкая, Т. В.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В. |
| 2019 | Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2017 | Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2017 | Стабилизация параметров границы раздела Si-SiO2 c помощью быстрой термической обработки | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А. |
| 2015 | УПРАВЛЯЕМАЯ ТРАНСФОРМАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ КРЕМНИЕВЫХ БИПОЛЯРНЫХ МОЩНЫХ СВЧ-ТРАНЗИСТОРОВ ИОННЫМИ ПУЧКАМИ | Солодуха, В. А.; Снитовский, Ю. П. |
| 2012 | ФОРМИРОВАНИЕ БАРЬЕРОВ ШОТТКИ НА ОСНОВЕ СИЛИЦИДНОГО НИКЕЛЬ-ПЛАТИНОВОГО СПЛАВА | Солодуха, В. А.; Турцевич, А. С.; Соловьев, Я. А.; Комаров, Ф. Ф.; Мильчанин, О. В.; Ковалева, Т. Б. |
| 2020 | Формирование полупроводниковых приборов с диодами Шоттки с использованием быстрой термообработки | Соловьёв, Я. А.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Жигулин, Д. В.; Ацецкая, Е. С.; Сарычев, О. Э. |
| 2019 | Характеризация методом рор процесса формирования слоев силицида платины при быстрой термообработке системы платина-кремний | Солодуха, В. А.; Мильчанин, О. В.; Пилипенко, В. А.; Ушаков, И. В.; Горушко, В. А. |
| 2021 | Электролюминесценция пленок SiO2 на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением | Романов, И. А.; Ковальчук, Н. С.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Шестовский, Д. В.; Демидович, С. А. |
| 2021 | Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением | Романов, И. А.; Ковальчук, Н. С.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Шестовский, Д. В.; Демидович, С. А. |
