Browsing by Author Пальмера Д. Мигель А.
Showing results 1 to 1 of 1
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
| 2014 | Модификация свойств кремниевых эпитаксиальных пленок обработкой в водородной плазме | Покотило, Ю. М.; Петух, А. Н.; Литвинов, В. В.; Маркевич, В. П.; Ксеневич, В. К.; Смирнова, О. Ю.; Стельмах, Г. Ф.; Мазаник, А. В.; Королик, О. В.; Гиро, А. В.; Пальмера Д. Мигель А. |