Просмотр Авторы Осин, С. А.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2000 | Микроинтерферометр для контроля размеров субмикронных топологических элементов | Колесников, В. М.; Осин, С. А. |