Logo BSU

Просмотр Авторы Горушко, В. А.

Перейти: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

или введите несколько первых символов:  
Результаты 1 - 20 из 26  следующий >
Предварительный просмотрДата выпускаЗаглавиеАвтор(ы)
2018Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисленияАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.
2021Влияние быстрой термической обработки на оптические характеристики кремнияПилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Омельченко, А. А.; Анищик, В. М.; Понарядов, В. В.
2011ВЛИЯНИЕ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ TiSi2 И ПРОВОДИМОСТЬ ШИН МЕТАЛЛИЗАЦИИ НА ЕГО ОСНОВЕПилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Шведов, С. В.
мая-2011Влияние вертикального масштабирования на статические и динамические параметры биполярных микросхемПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкая, Т. В.
1985Влияние импульсной оптической обработки на параметры диэлектрических пленокГорушко, В. А.; Николаеня, А. З.; Пилипенко, В. А.; Стержанов, Н. И.; Чигирь, Г. Г.
мая-2007Влияние лазерного геттерирования на структурные и электрические параметры эпитаксиальных слоев кремнияПилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
янв-2008Влияние лазерного геттерорирования кремниевых пластин на свойства границы раздела Si – SIO2Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Понарядов, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2007Влияние лазерной обработки импульсами наносекундной длительности на поверхностные свойства кремнияПилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, B. C.; Петлицкая, Т. В.
2021Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработкиАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.; Омельченко, А. А.
мая-2006Модель термического окисления кремния при быстрой термической обработкеПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Петлицкая, Т. В.
янв-2009Особенности лавинного пробоя перехода коллектор - база субмикронного биполярного транзистораПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2008Особенности лавинного пробоя перехода коллектор-база субмикронного биполярного транзистораПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2018Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработкеСолодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.
2001Особенности структуры и фазовых переходов в системе титан-кремний при быстрой термообработкеПилипеико, В. А.; Пономарь, В. Н.; Понарядов, В. В.; Пилипенко, И. В.; Горушко, В. А.
мая-2010Особенности формирования базового диэлектрика при вертикальном масштабировании микросхемПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2015Оценка равномерности нагрева поверхности полупроводниковых пластин при быстрой термической обработкеГорушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Петлицкая, Т. В.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.
2013Оценка равномерности облучения полупроводниковых пластин в камере установки БТОПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Турцевич, А. С.; Шведов, С. В.; Петлицкая, Т. В.
2019Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрикаАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.
1998Планаризация поверхности изолирующего диэлектрика с использованием быстрой термической обработкиПономарь, В. Н.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И.
2017Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнииАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.