Просмотр Авторы Вавилов, В. С.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
мар-1995 | Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения | Челядинский, А. Р.; Вавилов, В. С. |