Технология формирования пленок оксинитрида железа с использованием оптико-спектральных систем контроля

Abstract

The vacuum-plasma magnetron technology of growing high-strength oxynitride iron films with attractive decorative proper- ties on architectural glass using air as a reaction plasma-forming gas and a scatter target made of corrosion-proof steel is developed. Use of two special optical spectral monitoring and management systems has allowed to provide a reproducibility of the technical process and grown films parameters. The microprocessor device has automatically allowed to support a reactivity degree and therefore to provide a reproducibility of plasma parameters and co-vering structure. For the control of the thickness and colour coordinates of coverings the special updating of the spectrophotometric control system of the optical spectral characteristics of formed thin-film coverings was created. The created system can carry out the control of the covering formation process on the device on the transmission spectrum, and also has an opportunity of the postoperative express control. = Разработана магнетронная технология нанесения высокопрочных пленок оксинитрида железа на архитектурное стекло с хорошими оптическими спектральными характеристиками и декоративными свойствами. Использованы две специальные системы контроля, первая обеспечивала стабилизацию состава плазмы, необходимой степени реактивности и, следовательно, состава наносимого покрытия, вторая служила для оперативного контроля толщины и послеоперационного определения оптико-спектральных характеристик полученных тонкопленочных покрытий.