Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/6081
Заглавие документа: | Катодолюминесценция слоев анодно-окисленного Si1–xGex-сплава |
Авторы: | Новиков, А. Г. Казючиц, Н. М. Гайдук, П. И. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | мая-2008 |
Издатель: | БГУ |
Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика.– 2008. - № 2. – С. 35-38. |
Аннотация: | In this work, a new approach has been proposed and developed to enhance luminescence efficiency using an anodic oxidation procedure of Si1–xGex alloy layers. The cathodoluminescence (CL) spectra consist of two principal strong bands whose peak energies are in red region (~ 1,9 eV) and in a blue-violet region (~ 2,9 eV), respectively. The following possible reasons for intensive CL are discussed: a) the Ge clusters incorporated in the oxide layer; b) defect-related luminescence. = Методами катодолюминесценции, резерфордовского обратного рассеяния и просвечивающей электронной микроскопии исследованы слои Si1–xGex-сплавов после анодного окисления, высокотемпературной обработки и облучения ионами He+ (2 МэВ, 1015 – 1016 см–2). Показано, что при термическом распаде анодно-окисленных SiGe-слоев происходит формирование нанокластеров Ge со средним размером 3÷5 нм и плотностью (4÷6)·1011см–2. Спектры катодолюминесценции содержат две основные полосы, находящиеся в красном (~640÷700 нм) и фиолетовом (~400÷480 нм) диапазоне спектра. Относительная интенсивность полос зависит от режимов имплантации He+, а также от содержания Ge в окисленных слоях. Полученные результаты обсуждаются в рамках механизма кислородно-обедненных центров с учетом влияния имплантационных дефектов и Ge-кластеров. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/6081 |
ISSN: | 0321-0367 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Располагается в коллекциях: | 2008, №2 (май) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
pages 35-38 from Вестник БГУ_Май_2008_Серия1_№2.pdf | 12,51 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.