Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/53652| Заглавие документа: | Диффузионные процессы в кремнии, модифицированном осаждением co покрытий в сочетании с облучением ионами Xe |
| Авторы: | Михалкович, О. М. Ташлыков, И. С. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2013 |
| Библиографическое описание источника: | Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния. Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния: материалы второй Междунар. науч.-практ. конф., 27 – 28 фев. 2013 г. – Минск, 2013. – С. 228-230 |
| Аннотация: | В настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузион- ных процессов в Si, модифицированном осаждением Co покрытий в условиях ассистирования собствен- ными ионами, когда образцы кремния предварительно облучались ионами ксенона. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/53652 |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 228-230.pdf | 249,04 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.