Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49662| Заглавие документа: | Исследование процессов активации кремниевых структур перед химическим никелированием |
| Авторы: | Слипай, М. С. Соколов, В. Г. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Дата публикации: | 2012 |
| Библиографическое описание источника: | Сборник научных работ студентов Республики Беларусь "НИРС 2011". - Минск, 2012. - С. 49-50 |
| Аннотация: | The study of the influence of the activation on the surface morphology of obtained nickel-phosphorus coatings were carried out. The study defines the process variable of activation single-crystal silicon, which satisfies the requirements of 3D TSV technology. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49662 |
| Располагается в коллекциях: | Сборник научных работ студентов Республики Беларусь "НИРС 2011" |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.