Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48225
Заглавие документа: Радиационные технологии в материаловедении № УД-2060/баз.
Другое заглавие: Учебная программа для специальности 1-31 04 01 Физика (по направлениям) (1-31 04 01-02 производственная деятельность)
Авторы: Просолович, Владислав Савельевич
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2009
Аннотация: Программа "Радиационные технологии в материаловедении" разработана для специальности 1-31 04 01 Физика (по направлениям). Целью курса является формирование у студентов основных представлений о сущности и методах управления свойствами полупроводниковых материалов при помощи использующихся в настоящее время в электронике ионно-радиационных технологий. Развитие полученных знаний и навыков для последующей работы в области полупроводникового материаловедения используя ионно-радиационные методы модификации материалов, формирование у будущих специалистов основополагающих принципов оценки возможности использования соответствующих технологий для разработки методов создания конкретных элементов и устройств электронной техники. Разработка и освоение в производстве полупроводниковой электроники новых технологий, среди которых ведущее место занимают ионно-радиационные, является необходимым условием научно-технического прогресса в области микроэлектроники. Несмотря на видимую простоту радиационных методов, их применение на практике стало возможным только после создания качественной модели радиационных процессов, определения и разработки эффективных путей управления ими, приводящих к получению необходимых и стабильных изменений параметров кристаллов. В связи с этим глубокое понимание физической сущности процессов, происходящих в полупроводниковых материалах и структурах на их основе, является необходимым условием успешной профессиональной деятельности специалиста, имеющего квалификацию «Физик. Инженер», работающего в области физики полупроводниковых материалов и приборов. В данном курсе рассмотрены физические принципы и явления, лежащие в основе современных ионно-радиационных технологий, применяемых в полупроводниковом материаловедении. Проведен анализ и даны сравнительные характеристики различных ионно-радиационных методов модификации материалов, определены границы их применимости. Даны основные понятия ионной имплантации твердых тел и ее основные параметры, физические основы катодного распыления, методы ионного распыления, технологические особенности ионно-плазменного распыления, трансмутационного легирования, корректировки эксплуатационных параметров полупроводниковых приборов ионизирующими излучениями. Анализируются достоинства и недостатки каждого из методов, их применимость для реализации в конкретных видах полупроводниковых приборов в зависимости от их электрофизических, оптических, рекомбинационных, магнитных свойств.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48225
Располагается в коллекциях:Семестр 7. Радиационные технологии в материаловедении

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Просолович_02-17_УП_Радиационные технологии в материаловедении.pdf167,92 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.