Режимы работы рентгеновского дифрактометра для исследования тонкопленочных полупроводниковых структур: реферат дипломной работы/Чертков К.Ю., БГУ, физический факультет, кафедра ядерной физики, руководитель Ржеуцкий Н.В.

Abstract

40 страниц, 37 рисунков, 10 источников.

РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКТОМЕТРИЯ, ДИФРАКТОМЕТРИЯ ПРИ СКОЛЬЗЯЩЕМ ПАДЕНИИ, РЕНТГЕНОВСКАЯ РЕФЛЕКТОМЕТРИЯ, МЕТОД SIN2ψ, ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ СТРУКТУРА, ЭПИТАКСИАЛЬНЫЙ СЛОЙ, КОЛЛИМАТОР НА ПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ПЛАСТИНАХ, ЗЕРКАЛО ГЕБЕЛЯ.

Объект исследования - режимы работы настольного рентгеновского порошкового дифрактометра PowDiX 600 для измерения характеристик тонкопленочных полупроводниковых структур.

Целью дипломной работы являлось определение режимов работы порошкового рентгеновского дифрактометра для расширения его функциональных возможностей в части исследования тонкопленочных полупроводниковых структур.

Актуальность работы обусловлена востребованностью на мировом рынке компактных и недорогих многофункциональных рентгеновских дифрактометров, занимающих промежуточную нишу между стационарными аппаратами высокого разрешения и настольными порошковыми дифрактометрами. Освоение производства такой продукции в Республике Беларусь поможет обеспечить технологический суверенитет страны.

В работе применялись такие методы рентгеновских исследований, как дифрактометрия при скользящем падении, рентгеновская рефлектометрия и метод определения остаточных напряжений sin2ψ.

Полученные результаты позволили сделать вывод о возможности создания на основе порошкового дифрактометра PowDiX 600 без необходимости доработки или замены его основных узлов (системы источника излучения, гониометра, детектора) нового продукта – Многофункционального компактного дифрактометра, а также разработать ряд рекомендаций и требований для создания необходимых опций.