Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/306779| Заглавие документа: | Тонкопленочные химические сенсоры и микросистемы: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 05 03 Химия высоких энергий. № УД-12219/уч. |
| Авторы: | Савицкий, Александр Александрови |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Дата публикации: | 30-июн-2023 |
| Аннотация: | Цель данной учебной дисциплины– расширить и углубить знания студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/306779 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | Тонкопленочные химические сенсоры и микросистемы |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Спекурс_сенсоры.pdf | 783,61 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.