Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304309| Заглавие документа: | Микроструктура поверхности наноструктурированных покрытий ZrN/Si3N4, облученных ионами гелия |
| Другое заглавие: | Surface microstructure of nanostructured ZrN/Si3N4 coatings irradiated with helium ions / S.V. Zlotski, I.D. Prikhodko, I.S. Mikityuk |
| Авторы: | Злоцкий, С. В. Приходько, И. Д. Микитюк, И. С. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 161-163. |
| Аннотация: | Исследована микроструктура поверхности многослойных пленок ZrN/Si3N4, облученных ионами гелия. Выявлено формирование блистеров и установлена зависимость степени радиационной эрозии многослойных пленок от соотношения толщин кристаллического и аморфного слоев (fZrN). Выявлены критические флюенсы блистерообразования в многослойных пленках (возрастает при уменьшении fZrN) и установлено минимальное значение при fZrN ~ 0.29 |
| Аннотация (на другом языке): | The microstructure of the surface of ZrN/Si3N4 multilayer films irradiated with helium ions has been studied. The formation of blisters was revealed and the dependence of the degree of radiation erosion of multilayer films on the ratio of the thicknesses of the crystalline and amorphous layers (fZrN) was established. The critical fluences of blister formation in multilayer films are revealed; it increases with decreasing f ZrN and the minimum value is established at f ZrN ~ 0.29 |
| Доп. сведения: | Секция 2. Радиационные эффекты в твердом теле = Section 2. Radiation effects in solids |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304309 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 161-163.pdf | 309,99 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.