Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304286
Заглавие документа: | Возможность внедрения углеродных нанотрубок в структуру пленок поликристаллического алмаза, осаждаемых методом химического газофазного осаждения |
Другое заглавие: | The possibility of introducing carbon nanotubes in the structure of polycrystalline CVD diamond films / Alexander Mitulinsky, Stepan Linnik, Alexander Gaydaychuk |
Авторы: | Митулинский, А. С. Линник, С. А. Гайдайчук, А. В. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2023 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 96-98. |
Аннотация: | Данная работа посвящена экспериментальному исследованию внедрения углеродных нанотрубок в процесс CVD синтеза алмазных пленок. Углеродные нанотрубки предварительно осаждались на кремниевые подложки. Синтез алмаза проводился в рабочей газовой смеси H2/CH4, как с катализатором роста углеродных нанотрубок, так и без него. Показано, что в широком диапазоне исследованных концентраций метана (до 28.6 %) нанотрубки вытравливаются с поверхности подложки раньше, чем начинаются процессы роста алмаза. Утонение и разрыв являются основными механизмами травления нанотрубок в водородной среде |
Аннотация (на другом языке): | This study is concerned on the experimental investigation of carbon nanotubes integration in CVD synthesis of diamond films. Carbon nanotubes were predeposited on silicon substrates. HFCVD process was held in an argon-free H2/CH4 working gas mixture, both with and without catalyst for carbon nanotubes growth, under the parameters of diamond synthesis. It is shown that in a wide range of studied methane concentrations (up to 28.6 vol.%) nanotubes etch from substrate surface before diamond growth processes occur. Thinning and cutting are two main mechanisms of carbon nanotube etching in hydrogen environment |
Доп. сведения: | Секция 1. Процессы взаимодействия излучения и плазмы с твердым телом = Section 1. Processes of radiation and plasma interaction with solids |
URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304286 |
ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
Финансовая поддержка: | Исследование выполнено при финансовой поддержке Российского научного фонда, грант № 21-79-10004. |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Располагается в коллекциях: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.