Технология производства интегральных микросхем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 07 Физика наноматериалов и нанотехнологий. № УД-11437/уч.

Abstract

Программа данной учебной дисциплины разработана для учреждений высшего образования Республики Беларусь в соответствии с требованиями образовательного стандарта по специальности: 1-31 04 07 Физика наноматериалов и нанотехнологий для специализации 1-31 04 07 02 «Наноэлектроника». Содержание дисциплины «Технология производства интегральных микросхем» охватывает круг вопросов, посвященных теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и, в частности, конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик. Дисциплина изучается в 8 семестре. Форма текущей аттестации – экзамен.