Разработка физических основ и технологических принципов контролируемого реактивного магнетронного осаждения многослойных, твердых и износостойких, антифрикционных, термостойких, устойчивых к облучению структур на основе бинарных и тернарных нитридов металлов, упрочненных наноразмерными компонентами. Задание № 2.18.1 подпрограммы «Наноматериалы и нанотехнологии». ГПНИ «Функциональные и композиционные материалы, наноматериалы» : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Ф. Ф. Комаров

Abstract

Объект исследования — реактивное магнетронное осаждение покрытий. Цель работы — разработка физических основ и технологических принципов контролируемого реактивного магнетронного осаждения многослойных, твердых и износостойких, антифрикционных, термостойких, устойчивых к облучению структур на основе бинарных и тернарных нитридов металлов, упрочненных наноразмерными компонентамии, и исследование их механических свойств. В результате исследованы процессы реактивного магнетронного осаждения многослойных структур на основе бинарных и тернарных нитридов металлов; отработаны методы управления процессами контролируемого реактивного магнетронного осаждения многослойных, твердых и износостойких антифрикционных, термостойких структур на основе слоев Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N; определены зависимости элементного состава пленок Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N от потенциала смещения и температуры нагрева подложки; выявлены особенности структуры и фазового состава покрытий Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N в зависимости от их элементного состава, потенциала смещения и температуры нагрева подложек; получены результаты по механическим и трибологическим свойствам Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N покрытий. Практическая значимость результатов настоящего исследования состоит в разработке физико-технологических основ для создания наноструктурных покрытий Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N с улучшенными физико-механическими и трибологическими свойствами, что позволяет улучшить качество ряда изделий машиностроения.