ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПУЧКОВ ПРОТОНОВ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ОДНОРОДНОСТИ, ЭЛЕМЕНТНОГО И ИЗОТОПНОГО СОСТАВА АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ CVD

Abstract

Ядерно-физические методы анализа на пучках протонов - ХРИ и МИЯР – использованы для исследования характе- ристик алмазных пленок, осажденных методом CVD на кремниевую подложку. Реакции радиационного захвата прото- нов на изотопах 12C .и 13C с резонансами в сечении при энергиях 457 и 550 кэВ были использованы для определения толщины, однородности и изотопного состава вещества пленок. Характеристическое рентгеновское излучение атомов и мгновенное γ-излучение из ядерных реакций, возбуждаемое ускоренными протонами, использовано для определения примесного состава исследуемых пленок. Показано, что разработанная технология позволяет получать алмазный слой толщиной до нескольких мкм с высокой однородностью по глубине. Использованные методики анализа, основываю- щиеся на использовании пучков протонов от электростатических ускорителей с перестраиваемой энергией и вариацией тока пучка, позволяют осуществлять локальный, экспрессный, неразрушающий анализ элементного, а в ряде случаев и изотопного состава поверхности, а также слоев толщиной от десятых долей до нескольких микронов.