Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/280333| Заглавие документа: | Технологические процессы в современной микро- и наноэлектронике и методы исследования электронных структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-10669/уч. |
| Авторы: | Просолович, Владислав Савельевич Оджаев, Владимир Борисович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 30-мая-2022 |
| Издатель: | БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
| Аннотация: | В данном курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на технологические процессы изготовления устройств микро- и наноэлектроники. Приводятся возможности и ограничения важнейших методов исследования материалов на различных стадиях технологических процессов. Дисциплина изучается в 7 семестре. Форма текущей аттестации – экзамен. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/280333 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Тех.проц.в современной микро- и наноэлектронике и методы иссл-ия электрон.ст-р.pdf | 768,45 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.