Исследование плазмонных эффектов в периодических структурах с островковыми слоями высоколегированного кремния : отчет о научно-исследовательской и опытно-конструкторской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель П. И. Гайдук

Abstract

Объектами исследования являлись многослойные структуры Si/SiO2/Si3N4/Si, поверхностный островковый слой которых сформирован селективным лазерным отжигом. Цели работы – исследование процессов формирования многослойных структур на основе микроразмерных высоколегированных островков кремния и анализ в полученных структурах плазмонных эффектов в среднем ИК диапазоне. Основные технологические методы и методы исследований: компьютерное моделирование, лазерный отжиг, растровая электронная микроскопия, оптическая спектрометрия и др. В результате проведенной работы теоретически смоделированы свойства многослойных структур Si/SiO2/Si3N4/Si; методом селективного лазерного отжига сформированы структуры с островковым поверхностным слоем; исследованы структурные и оптические характеристики таких структур. Результаты НИР могут быть использованы при разработке неохлаждаемых болометрических матриц. Использование структурированного поверхностного слоя в таких приборах позволит повысить их эффективность за счет плазмонных эффектов. Результаты проекта могут быть использованы при подготовке НИР по разработке технологического процесса формирования островкового слоя с разным размером и уровнем легирования островков методом селективного лазерного отжига.