Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/271114
Заглавие документа: Оптические свойства гиперлегированного селеном кремния, формируемого постимплатационным наносекундным лазерным облучением
Другое заглавие: Optical properties of selenium-hyperdoped silicon synthesised by nanosecond laser annealing / Fadei Komarov, Gennadii Ivlev, Irina Parkhomenko, Liudmila Vlasukova, Maxim Makhavikou, Jerzy Żuk
Авторы: Комаров, Ф. Ф.
Ивлев, Г. Д.
Пархоменко, И. Н.
Власукова, Л. А.
Моховиков, М. А.
Жук, Ю.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2021
Издатель: Минск : БГУ
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 14-й Междунар. конф., посвящ. 100-летию Белорус. гос. ун-та, Минск, Беларусь, 21-24 сент. 2021 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 304-308.
Аннотация: Гиперлегированные селеном слои кремния (Si:Se гл ) с концентрацией халькогена на 4 порядка выше предела равновесной растворимости, полученные ионной имплантацией Se с последующей импульсной лазерной обработкой (ИЛО) на λ = 694 нм, проявляют существенное поглощение излучения в видимом и ИК диапазоне. Проведено сравнение спектральных зависимостей коэффициента поглощения излучения видимой и ИК- области в образцах Si:Se гл при ряде значений плотности энергии (W) ИЛО 0.55-2.5 Дж/см2 в наносекундным импульсе излучения рубинового лазера. Методом in-situ получены данные о динамике лазерно-индуцированных фазовых превращений. Установлено, что поглощение увеличивается при низких плотностях энергии, однако полное восстановление кристаллической структуры Si происходит при W ≥1 Дж/см2
Аннотация (на другом языке): Silicon layers hyperdoped with selenium to concentrations of four orders of magnitude higher than the equilibrium solubility limit of this impurity, have been obtained by Se ion implantation followed by pulsed laser annealing (PLA) using ruby laser λ = 694 nm. The effect of pulse energy densities W = 0.55 … 2.5 J/cm 2 on transmission and reflectance in visible and IR spectral range has been investigated. Lase-induced phase transformation has been analysed by in-situ optical diagnostic. Selenium-hyperdoped layers exhibit significant absorption (~50%) in IR spectral range already at low W. However, the restoration of crystal structure of the implanted layers occurs only after the laser annealing at W ≥1 J/cm2
Доп. сведения: Секция 3. Модификация свойств материалов = Section 3. Modification of material properties
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/271114
ISSN: 2663-9939 (Print)
2706-9060 (Online)
Располагается в коллекциях:2021. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
304-308.pdf424,48 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.