Просмотр "2011. Взаимодействие излучений с твердым телом" Авторы Петров, С. А.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2011 | ОРИЕНТАЦИОННЫЙ ЭФФЕКТ СИНТЕЗА СПЛОШНЫХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СКРЫТЫХ СЛОЕВ НИТРИДА И КАРБИДА КРЕМНИЯ ПРИ ВЫСОКОИНТЕНСИВНОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ | Петров, С. А. |